Technologyテクノロジー

光を考えるラヴィ・システムズ

光学系設計
1.UV-LED露光用平行光源
LEDを採用することで性能およびメンテナンス性を向上することが可能となりました。
2.高平行光ソーラシミュレータ
太陽電池の評価だけでなく、様々なデバイス評価するために太陽光と同等の平行光が必要とされています。

<UV-LED光源のメリット>

フォトリソグラフィにおいて露光光源として超高圧水銀ランプを用いられてきましたが、UV-LEDを用いる事で次のような点が改善されます。

省メンテナンス

  1. 照度が安定するための時間を要しません。
  2. 露光および遮光にLEDのON・OFFで行い、シャッター機構を必要としません。
  3. 露光時間のみ点灯させるので、省電力かつ光源の長寿命が可能です。
  4. ランプの破裂による光学部品の損傷がありません。
  5. LEDの持つ波長特性の露光になるため、ランプ使用時の様な熱線が照射されません。

環境規制問題(2020年水俣条約等)

水銀を使用しないため、水俣条約および水銀汚染防止法の規制対象の恐れがありません。

Design用途開発

  1. 用途に応じて特定の波長域また複数波長域の光源を開発
  2. 波長域別に最適なランプを選定し

ASTM G173 Reference

波長域別に最適なランプを提案

UV

  • LED
  • キセノンランプ
  • 水銀ランプ
  • メタルハライドランプ

VIS

  • LED
  • キセノンランプ
  • メタルハライドランプ

IR

  • キセノンランプ
  • ハロゲンランプ

コリメーション半角、
デクリネーション角について

精密なフォトリソグラフィ(光リソグラフィ)やソーラシミュレーションを実現するためには、必要とされる光の波長だけではなく、より平行度の高い光が要求されます。 この平行度は次の2種類の角度で評価されます。

視角(コリメーション半角)

照射面から見た光源の大きさを角度で表し、露光のパターン加工精度に影響する。
主に解像度に関係し、小さいほど解像度が向上するが、小さすぎるとマスクの小さな傷やごみも影響したり、マスクパターンによる回折の影響が大きくなる。

中心光線平行度(デクリネーション角)

中心光線平行度は光源中心から来る光と照射面の法線(光軸)がなす角度(照射面内最大値)である。この角度は露光する際の位置ズレを大きく左右するため露光用光源の性能を評価する重要な指標となる。小さいほどレジストの膜が厚い場合でもパターン形状が中央と周辺で変化が小さい。

コリメーション半角、デクリネーション角