REXシリーズ
UV-LED平行露光光源UV-LED exposure system for photolithography
優れた平行度と長寿命の両立を実現
従来の紫外線ランプに比べ、UV-LEDは「水銀不使用」のため環境に優しいことに加え、寿命が長く、消費電力も少なくまた熱線がほとんど出ないことなどさまざまな利点があります。近年、紫外線ランプがUV-LEDへの置き換えが進んでおり、UV殺菌・UV硬化/接着などの用途ではUV LEDがかなり普及しました。しかし、半導体関連のUV露光という用途では高い平行性が求められている露光用UV-LEDの平行光光源がまだ数多くありません。UV-LED平行露光光源RLEXシリーズは、上記のLEDのメリットを活かしながら従来のランプ式露光光源より優れた性能を達成しており、次世代のUV露光光源として開発されました。
Feature特徴
優れた性能
従来のランプ式光源より優れた平行度と高強度の均一露光を実現。
熱線が発せず、波長の管理が容易です。
長寿命
従来のランプ式光源より優れた平行度と高強度の均一露光を実現。
熱線が発せず、波長の管理が容易です。
寿命比較（UV-LED vs 水銀ランプ）
| UV-LED | 水銀ランプ | |
|---|---|---|
| ※保証寿命（1h） | 10,000 | 1,000〜1,500 |
| ※使用年数 | 3〜4年 | 約2ヶ月 |
| 保証寿命後 | 継続使用可能 | 使用不可 （破裂の可能性あるため） |
| 使用前の安全点検 | 不要 | 必要 |
| 稼働中点灯状態 | 必要時点灯 | 常時点灯 |
- ＊保証寿命：UVLED点灯個数が新品時の70%以下に達したとき。
- ＊使用年数：露光（点灯）時間3秒（10秒／1タクト）、24時間フル稼働とした場合。
操作性・メンテナンス性
- 前面パネルにてLED基盤温度表示＆マニュアル照度調整
- 背面コネクタI/O制御可能
- メンテナンスはLED基盤交換のみ（数年一回、引取対応）
全機種共通
| 温度表示 | 前面パネル |
|---|---|
| 照度憑依 | 10%〜100% |
| 制御方式 | 前面パネル、I/O |
| 定格入力 | 90VAC - 350VAC、47 - 63HZ |
環境への配慮
水銀レス&オゾンレス、「水俣条約」に対応。
Application Field応用分野
Spec仕様
中心波長選択
- 標準中心波長:365±5nm
- 385nm,395nm,405nmまた混合波長も対応可能
有効照射面積Φ100, Φ155, Φ200標準対応
- その他形状(四角)、面積も対応可能
- 実際出光面積は有効照射面積より大きい場合があります
| 標準モデル仕様一覧 | RLEX-100 | RLEX-160 | RLEX-200 |
|---|---|---|---|
| 有効照射面積 | Φ100mm | Φ150mm | Φ200mm |
| 標準照射距離 | 45 - 90mm | 70 - 170mm | 70 - 170mm |
| 照射均一度 | <±5% | <±5% | <±5% |
| 照射強度（365mm） | >30mw/cm2 | >30mw/cm2 | >25mw/cm2 |
| コリメーション半角（CHA） | <2° | <2° | <2.5° |
| デクリネーション角（DA） | <1° | <1° | <2° |
| LED寿命 | >10,000h | >10,000h | >10,000h |
※コリメーション半角とデクリネーション角についてはこちらをご参照ください。